Laserbasierte Kristallisation von nasschemisch applizierten Lanthan-Nickel-Oxid-Schichten
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Beschreibung
Neue Materialien und innovative Fertigungsverfahren sind der Schlüssel für unseren technologischen Fortschritt. Im Zuge dieser Doktorarbeit konnte ein laserbasiertes Verfahren entwickelt werden, mit dem dünne, elektrisch leitende Lanthan-Nickel-Oxid-Schichten hergestellt werden können. Die notwendige Prozesszeit kann dabei von mehreren Minuten auf wenige Sekunden reduziert werden. Diese Schichten können in der Mikroelektronik, in der Wasserstofferzeugung und als Sensoren eingesetzt werden.
Autor*in
Samuel Moritz Fink
Themen in »Laserbasierte Kristallisation von nasschemisch applizierten Lanthan-Nickel-Oxid-Schichten«
Fertigungstechnik Prozesstechnologie Additive Fertigung und Laserstrukturieren Produkionsmaschinen Lasersystemtechnik Dünnschichtverfahren Beschichtung Mikroelektronik