Next-generation nanoimprint lithography: Innovative approaches towards improving flexibility and resolution of nanofabrication in the sub-15-nm region
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Nanostrukturen, Nanobauelemente
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ISBN: 9783932749957
Verlag: Verein zur Förderung des Walter Schottky Instituts der Technischen Universität München
Erscheinung: 25.09.2008