Karin Buchholz Buchholz Microprocessing of silicon on insulator substrates and biofunctionalisation of silicon dioxide surfaces for sensing applications in fluid

Microprocessing of silicon on insulator substrates and biofunctionalisation of silicon dioxide surfaces for sensing applications in fluid

von Karin Buchholz

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Karin Buchholz

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Halbleiterphysik SOI

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Details

ISBN: 9783932749735
Verlag: Verein zur Förderung des Walter Schottky Instituts der Technischen Universität München
Erscheinung: 01.2006

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