Herstellung und Charakterisierung von dünnen Silizium/Siliziumoxid-Schichtsystemen
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Beschreibung
Autor*in
Andreas Sticht
Themen in »Herstellung und Charakterisierung von dünnen Silizium/Siliziumoxid-Schichtsystemen«
Festkörperphysik Halbleiterphysik Silizium Siliziumoxid-Schichtsysteme
Stimmen zu »Herstellung und Charakterisierung von dünnen Silizium/Siliziumoxid-Schichtsystemen«
Details
ISBN: 9783932749490
Verlag: Verein zur Förderung des Walter Schottky Instituts der Technischen Universität München
Erscheinung: 07.11.2003