Uwe Hübner Hübner Hochauflösende Elektronenstrahllithografie für die Submikrometerstrukturierung von HTS-Josephsonkontakten

Hochauflösende Elektronenstrahllithografie für die Submikrometerstrukturierung von HTS-Josephsonkontakten

von Uwe Hübner

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Beschreibung

Autor*in

Uwe Hübner

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Details

ISBN: 9783932633430

Verlag: ISLE Steuerungstechnik und Leistungselektronik

Erscheinung: 02.2000

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