Gerald Fütterer Fütterer UV-Shearing Interferometrie zur Vermessung lithografischer phase-shift Masken und VUV-Strukturierung

UV-Shearing Interferometrie zur Vermessung lithografischer phase-shift Masken und VUV-Strukturierung

von Gerald Fütterer

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Gerald Fütterer

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Details

ISBN: 9783932392610

Verlag: Universität Erlangen-Nürnberg Lehrstuhl f. Mikrocharakterisierung

Erscheinung: 2005

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