Christof Delhaes Delhaes Abscheidekinetik von Siliciumcarbid aus MTS-H₂-CH₄-HCI-Ar-Mischungen bei 800 bis 1400⁰C

Abscheidekinetik von Siliciumcarbid aus MTS-H₂-CH₄-HCI-Ar-Mischungen bei 800 bis 1400⁰C

von Christof Delhaes

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Christof Delhaes

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Details

ISBN: 9783930911516
Verlag: Verlag Günter Mainz
Erscheinung: 1995

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