Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology
GADEST 2003
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Beschreibung
Autor*in
H Richter
Themen in »Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology«
Festkörper Physik Materialwissenschaften Halbleiter
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Details
ISBN: 9783908450825
Verlag: Trans Tech
Erscheinung: 01.2004