Frank A Bose Bose Diagnostics and Control of Plasma Etching Reactors for Semiconductor Manufacturing

Diagnostics and Control of Plasma Etching Reactors for Semiconductor Manufacturing

von Frank A Bose

EUR 60,00

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Beschreibung

Autor*in

Frank A Bose

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Details

ISBN: 9783907574096
Verlag: ETH Zürich Swiss Federal Institute of Technology, Physical Electronic Laboratory
Erscheinung: 1995

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