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Defects in Silicon Induced by High Temperature
von Michael Dammann
Treatment and their Influence on MOS-Devices
EUR 30,00
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Beschreibung
Autor*in
Michael Dammann
Stimmen zu »Defects in Silicon Induced by High Temperature«
Details
ISBN:
9783907574034
Verlag:
ETH Zürich Swiss Federal Institute of Technology, Physical Electronic Laboratory
Erscheinung:
1994
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