Johannes Studener Studener Zur thermomechanischen Modellierung von Annealprozessen für grosse Silizium-Waferscheiben

Zur thermomechanischen Modellierung von Annealprozessen für grosse Silizium-Waferscheiben

von Johannes Studener

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Autor*in

Johannes Studener

Themen in »Zur thermomechanischen Modellierung von Annealprozessen für grosse Silizium-Waferscheiben«

Anneal Einkristall Slip Vergleitung

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Details

ISBN: 9783899595024

Verlag: Der Andere Verlag

Erscheinung: 31.08.2006

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