Micromachining of Monocrystalline Silicon Membranes for Sensor Applications Using Porous Silicon
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Beschreibung
Autor*in
Simon Armbruster
Themen in »Micromachining of Monocrystalline Silicon Membranes for Sensor Applications Using Porous Silicon«
Mikrosystemtechnik Silizium, poröses Silizium-Membranen
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Details
ISBN: 9783899594072
Verlag: Der Andere Verlag
Erscheinung: 04.12.2005