Dietmar Brunsch Brunsch Differenzdrucksensor in Dünnschicht-Mikromechanik

Differenzdrucksensor in Dünnschicht-Mikromechanik

von Dietmar Brunsch

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Beschreibung

Autor*in

Dietmar Brunsch

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Details

ISBN: 9783898735872
Verlag: Cuvillier Verlag
Erscheinung: 01.2003

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