Darina Manova Manova Formation of aluminium nitride by plasma immersion ion implantation

Formation of aluminium nitride by plasma immersion ion implantation

von Darina Manova

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Beschreibung

Autor*in

Darina Manova

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Details

ISBN: 9783898202701

Verlag: Mensch & Buch

Erscheinung: 2001

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