Ralf van Bentum Bentum Herstellung und Charakterisierung lokaler Silizium-auf-Isolator-Substrate

Herstellung und Charakterisierung lokaler Silizium-auf-Isolator-Substrate

von Ralf van Bentum

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Beschreibung

Autor*in

Ralf van Bentum

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Details

ISBN: 9783898201094

Verlag: Mensch & Buch

Erscheinung: 2000

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