Birgit von Ehrenwall Ehrenwall Gasphasenabscheidung kristalliner Silizium-Schichten auf Keramiksubstrathen mit Normaldruck-CLD

Gasphasenabscheidung kristalliner Silizium-Schichten auf Keramiksubstrathen mit Normaldruck-CLD

von Birgit von Ehrenwall

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Beschreibung

Autor*in

Birgit von Ehrenwall

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Details

ISBN: 9783897222625

Verlag: Logos Berlin

Erscheinung: 1999

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