Proceedings of the 5th Seminar on Quantitative Microscopy and 1st Seminar on nanoscale Calibration Standards and Methods NanoScale 2001

Beschreibung

In 31 Beiträgen wird ein Einblick in den derzeitigen Stand der quantitativen Erfassung von Oberflächenstrukturen im Nanometerbereich vermittelt. Die Beiträge verteilen sich nahezu gleichmäßig auf die Themenbereiche: Normale und Kalibriermethoden - Angewandte Messungen - Neue Instrumente und Messmethoden. Die Rastersondenmikroskopie bildet mit mehr als der Hälfte der Beiträge den instrumentellen Schwerpunkt, aber auch verschiedene optische Messmethoden und -geräte werden behandelt. Thematischer Schwerpunkt ist die Messung von Stufenhöhen und die Kalibrierung von Messgeräten in der entsprechenden z-Achse.

Autor*in

Klaus Hasche

Themen in »Proceedings of the 5th Seminar on Quantitative Microscopy and 1st Seminar on nanoscale Calibration Standards and Methods NanoScale 2001«

Fertigungsmeßtechnik Nanoscale Calibration PTB

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