Michael Arps Arps Eigenschaften und Anwendungen von Niedertemperatur-PECVD-Siliziumnitrid

Eigenschaften und Anwendungen von Niedertemperatur-PECVD-Siliziumnitrid

von Michael Arps

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Beschreibung

Autor*in

Michael Arps

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Details

ISBN: 9783896854452

Verlag: Wissenschaft & Technik

Erscheinung: 1997

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