Ernst Ch Richter Richter Diffusion Phenomena in the chemically amplified CARL® Resist System

Diffusion Phenomena in the chemically amplified CARL® Resist System

von Ernst Ch Richter

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Beschreibung

Autor*in

Ernst Ch Richter

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Details

ISBN: 9783896758453

Verlag: utzverlag GmbH

Erscheinung: 2000

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