Matthias Schierling Schierling Untersuchungen zur Kinetik der CVD-Abscheidung von Al2O3 aus AICI3-CO2-HCI-Gemischen

Untersuchungen zur Kinetik der CVD-Abscheidung von Al2O3 aus AICI3-CO2-HCI-Gemischen

von Matthias Schierling

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Beschreibung

Autor*in

Matthias Schierling

Stimmen zu »Untersuchungen zur Kinetik der CVD-Abscheidung von Al2O3 aus AICI3-CO2-HCI-Gemischen«

Details

ISBN: 9783896534996

Verlag: Verlag Günter Mainz

Erscheinung: 1999

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