Plasmapolymerisation: Untersuchungen von Direkt- und "remote"-Prozessen mit hoher Depositionsrate zur grossflächigen Abscheidung homogener Schichten
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Beschreibung
Autor*in
Klaus P Ningel
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Details
ISBN: 9783896533944
Verlag: Verlag Günter Mainz
Erscheinung: 1998