Axel Ch Jörg Jörg Abscheidekinetik und Charakterisierung von Bornitrid, hergestellt aus Trimethylborazin nach dem CVD-Verfahren

Abscheidekinetik und Charakterisierung von Bornitrid, hergestellt aus Trimethylborazin nach dem CVD-Verfahren

von Axel Ch Jörg

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Beschreibung

Autor*in

Axel Ch Jörg

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Details

ISBN: 9783896530769

Verlag: Verlag Günter Mainz

Erscheinung: 1996

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