This thesis deals with micro material processing using arbitrarily shaped nanosecond laser pulses in a phenomenological way. For setting up a basic understanding of correlated beam-matter-interaction experimental investigations as well as time resolved microscopy were carried out. A process model is presented in order to discuss the ways in which the temporal pulse shape can be used for micro material processing and in which cases this additional variable does not give advantages.
Im Rahmen der vorliegenden Arbeit wird der Mikromaterialabtrag mittels zeitlich arbiträr geformter Nanosekundenlaserpulse phänomenologisch betrachtet. Hierzu wurden sowohl experimentelle Abtragsversuche mit Einzel- und Multipulsen als auch zeit- und ortsaufgelöste Analysen durchgeführt. Anhand eines Prozessmodells wird diskutiert, auf welche Weise die zeitliche Pulsformung für Mikromaterialbearbeitungsprozesse genutzt werden kann bzw. in welchen Fällen diese zusätzliche Stellgröße keinen Mehrwert bringt.
Sasia Mareike Hertweck
Kurzpuls Lasermikromaterialbearbeitung Perkussionsbohren Prozessanalyse phänomenologische Betrachtung zeitliche Pulsformung