Jakob Ph Barz Barz Particle dynamics simulation and diagnostics of the PECVD processes in fluorocarbon rf discharges

Particle dynamics simulation and diagnostics of the PECVD processes in fluorocarbon rf discharges

von Jakob Ph Barz

EUR 42,00

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Beschreibung

Autor*in

Jakob Ph Barz

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Details

ISBN: 9783868534672
Verlag: Dr. Hut
Erscheinung: 04.07.2010

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