Jörn Ch Weber Weber Reaktive Abscheidung von SiOxNy-Schichten durch Puls-Magnetron-Sputtern

Reaktive Abscheidung von SiOxNy-Schichten durch Puls-Magnetron-Sputtern

von Jörn Ch Weber

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Beschreibung

Autor*in

Jörn Ch Weber

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Details

ISBN: 9783868534528

Verlag: Dr. Hut

Erscheinung: 12.05.2010

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