Modular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren : ein mikrooptisches System auf der Basis mikrooptischer Bänke

Beschreibung

Die Modularisierung technischer Systeme bietet auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik im Bereich der Sensor- und Analysesysteme erhöhte Systemflexibilität bei sinkenden Herstell- und Entwicklungskosten. Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung, Realisierung und Charakterisierung aktorbasierter mikrooptischer Systeme anhand eines adaptiven Mach-Zehnder Mikrointerferometers in modularer Bauweise. Als Basis dient die LIGA-Technologie in Kombination mit kommerziellen Systemkomponenten.
Printing on Demand. Kostenloser Download über den Verlagsserver unter der URL http://www.ksp.kit.edu/shop/isbn/978-3-86644-529-1

Autor*in

Sven Schüle

Themen in »Modular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren : ein mikrooptisches System auf der Basis mikrooptischer Bänke«

Interferometer modulare Mikrosysteme LIGA-Mikrosysteme Mikrosystemtechnik Mikroaktorik

Stimmen zu »Modular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren : ein mikrooptisches System auf der Basis mikrooptischer Bänke«

Details

Link teilen