Hartmut Gerlicher Gerlicher Planarer Differenzdrucksensor in Silizium-Mikromechanik

Planarer Differenzdrucksensor in Silizium-Mikromechanik

von Hartmut Gerlicher

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Beschreibung

Autor*in

Hartmut Gerlicher

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Details

ISBN: 9783865376251

Verlag: Cuvillier Verlag

Erscheinung: 10.2005

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