Mario Rudolphi Rudolphi Untersuchungen zur Phasenbildung und Kristallisation auf der Konode SiC - Si3N4 unter Verwendung von Ionenimplantation und Magnetronsputtern

Untersuchungen zur Phasenbildung und Kristallisation auf der Konode SiC - Si3N4 unter Verwendung von Ionenimplantation und Magnetronsputtern

von Mario Rudolphi

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Beschreibung

Autor*in

Mario Rudolphi

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Details

ISBN: 9783865376046
Verlag: Cuvillier Verlag
Erscheinung: 12.09.2005

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