Herstellung und Charakterisierung von transparenten, elektrisch leitfähigen TiO2:Nb-Dünnschichten durch Gleichstrom- und Puls-Magnetron-Sputtern
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Beschreibung
Die vorliegende Dissertation befasst sich mit der Abscheidung von neuartigen transparenten leitfähigen Niob-dotierten Titanoxidschichten TiO2:Nb auf großen Flächen durch Magnetron-Sputtern. Schwerpunkt der Arbeit war die Untersuchung der optischen und elektrischen Eigenschaften von TiO2:Nb sowie der Struktur in Abhängigkeit von den Bedingungen bei der Schichtabscheidung und einer anschließenden thermischen Behandlung.
Durch Gleichstrom- und Puls-Magnetron-Sputtern von oxidischen Targets und einer anschließenden thermischen Behandlung bei 450°C im Hochvakuum wurden auf eine Fläche von (300 x 300) mm² transparente leitfähige TiO2:Nb -Schichten mit einem spezifischen elektrischen Widerstand im Bereich (7. 9) x 10-4 Ωcm und einem Extinktionskoeffizienten bei 550 nm von 0,02 abgeschieden. Die Eigenschaften der Schichten sind stark abhängig von ihrem Gefüge und den Herstellungsbedingungen der Schicht.
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Autor*in
Manuela Junghähnel
Themen in »Herstellung und Charakterisierung von transparenten, elektrisch leitfähigen TiO2:Nb-Dünnschichten durch Gleichstrom- und Puls-Magnetron-Sputtern«
Dünne Schicht Magnetronsputtern Niob Titandioxid Transparent-leitendes Oxid