Miniaturization limits of MEMS accelerometers
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Beschreibung
Autor*in
Manuel Engesser
Themen in »Miniaturization limits of MEMS accelerometers«
Accelerometer MEMS Microelectromechanical Systems Miniaturization Parameter Optimization RBDO Reliability-Based Design Optimization Six-Sigma Methodology
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Details
ISBN: 9783862470754
Verlag: Der Andere Verlag
Erscheinung: 10.2010