Kapazitives Messsystem zur Charakterisierung von planaren elektronischen Strukturen

Beschreibung

Zentrales Thema der Arbeit ist ein kapazitives Inspektions- und Messsystem für planare elektrische Strukturen. Dieses System ermöglicht eine bildgebende Messung zur Struktur- und Funktionsinspektion, sowie eine berührungslose Spannungsmessung. Im Rahmen der Arbeit wird hierzu die dem Messsystem zu Grunde liegende Theorie erarbeitet, sowie das Messsystem aufgebaut, charakterisiert und validiert. Ferner wird ein Messansatz zur simultanen Messung von zwei unabhängigen Messgrößen erarbeitet und evaluiert.

Autor*in

Fatih Alatas

Themen in »Kapazitives Messsystem zur Charakterisierung von planaren elektronischen Strukturen«

Inspektion planarer Strukturen Messsystem berührungsloses Messen kapazitive Messtechnik

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