Neuartige siliziumfreie ladungsträgerselektive Kontakte eignen sich als Alternative zum klassischen, durch eine Hochtemperatur-Dotierstoffdiffusion hergestellten Emitter in kristallinen Silizium (Si)-Solarzellen der nächsten Generation. In der vorliegenden Arbeit werden Titanoxid (TiOx)-basierte elektronenselektive Kontakte auf kristallinem Silizium charakterisiert und optimiert sowie in Silizium-Solarzellen implementiert.
Ultradünne Schichten aus SiOy und TiOx erweisen sich als effektive elektronenselektive Kontakte auf c-Si, wenn Aluminium (Al) als Kontaktmetall verwendet wird. Der Selektivitätsparameter S10 des optimierten Kontaktstapels wird erstmals durch die Kombination der gemessenen J0-Werte mit den gemessenen ρc-Werten bestimmt. Der extrahierte maximale S10-Wert von 11.6 entspricht einem maximalen Wirkungsgrad von ηmax = 24.1%.
Valeriya Titova
Solarzellen Titanoxid Atomlagenabscheidung