Miniaturisierte thermische Strömungssensoren auf flexiblem Substrat

Beschreibung

Die vorliegende Arbeit beschäftigt sich mit der Entwicklung, Modellierung und Optimierung eines miniaturisierten thermischen Strömungssensors auf flexiblem Substrat. Dies beinhaltet die Entwicklung eines Fertigungsprozesses mit einer vorherigen Auswahl des Substratmaterials, die Realisierung einer Ansteuer- und Auswerteelektronik sowie die Charakterisierung des Gesamtsystems. Des Weiteren wurde eine analytische Modellierung vorgenommen, um eine technische Optimierung des Gesamtsystems zu erreichen.

Autor*in

Hannes Sturm

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