Integriert optischer Schalter mit elektrostatischem Antrieb
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Beschreibung
In der vorliegenden Dissertation wurde ein zweikomponentiges integriert optisches Schaltelement mit elektrostatischem Antrieb auf der Basis sich kreuzender SiO2-SiON-SiO2 streifenbelasteten Wellenleitern konzipiert. Die Pyrexkomponente ist auf der Siliziumkomponente anodisch gebondet. Das Schaltelement hat zwei Arbeitszustände. Es wurden Simulationen zum Wellenleiterdesign durchgeführt und ein Prototyp des Schaltelements realisiert. Die Auslenkung der Wellenleiter nahe der Wellenleiterkreuzung zur Umschaltung in Durchgangsmodus beim Anlegen einer Spannung zwischen den Schalterkomponenten und die Lichtüberkopplung über einen schmalen Luftspalt wurden nachgewiesen. Es wurde gezeigt, dass das im Eingangswellenleiter eingekoppelte Licht um 90° ausgelenkt werden kann.
Autor*in
Krasimira Koleva