Entwicklung und Charakterisierung von siliziumbasierten mikrosystemtechnischen Komponenten für ein miniaturisiertes Gasanalysesystem

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Autor*in

Jörg Stürmann

Themen in »Entwicklung und Charakterisierung von siliziumbasierten mikrosystemtechnischen Komponenten für ein miniaturisiertes Gasanalysesystem«

Chromatographie Gasanalyse Mikroreaktor Mikrosystemtechnik Siliziumtechnologie

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