XXIV. Messtechnisches Symposium

Beschreibung

Das Kugelinterferometer der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB) wurde ursprünglich dafür konzipiert, die Volumenbestimmung von sphärischen Maßverkörperungen – insbesondere den Siliciumkugeln des Avogadro-Projekts – über präzise Durchmessermessungen mit einer Unsicherheit von einem Nanometer oder weniger zu ermöglichen. Nun wurde ein Verfahren implementiert, mit dem der Verwendungszweck des Interferometers auf Bereiche erweitert werden kann, in denen nicht ein Kugelvolumen oder -durchmesser, sondern eine richtungsabhängige Radiusinformation gefragt ist. Ein Vergleich mit den Ergebnissen von unabhängigen Rundheitsmessungen zeigt eine Genauigkeit im Bereich weniger Nanometer.

Autor*in

Gerd Scholl

Themen in »XXIV. Messtechnisches Symposium«

Algorithmik und Signalverarbeitung Drahtlose Netzwerke Fertigungsmesstechnik und Testsysteme Interferometrie Optische Technologien

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