Herstellung und Charakterisierung amorpher SiCN Schichten unter technologischen Aspekten in Hinblick auf tribologische Beanspruchung
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Beschreibung
Autor*in
Daniel Allebrandt
Themen in »Herstellung und Charakterisierung amorpher SiCN Schichten unter technologischen Aspekten in Hinblick auf tribologische Beanspruchung«
Gradient Magnetronsputtern PVD Reibung Tribologie
Stimmen zu »Herstellung und Charakterisierung amorpher SiCN Schichten unter technologischen Aspekten in Hinblick auf tribologische Beanspruchung«
Details
ISBN: 9783832274498
Verlag: Shaker
Erscheinung: 08.2008