Untersuchungen zur plasmagestützten Abscheidung von Schichten auf Stahlfeinblech im Niederdruck bei hohen Raten

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Autor*in

Krasimir Nikolov

Themen in »Untersuchungen zur plasmagestützten Abscheidung von Schichten auf Stahlfeinblech im Niederdruck bei hohen Raten«

Bandkohlkathonden-Verfahren DLC Hohe Abscheidrate PECVD Plasmapolymerschicht Plasmavorbehandlung Tetramethylsilan

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