Physikalisch basierte Mixed-Level Modellierung von gedämpften elektromechanischen Mikrosystemen

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Autor*in

Robert Sattler

Themen in »Physikalisch basierte Mixed-Level Modellierung von gedämpften elektromechanischen Mikrosystemen«

Elektrotechnik Mikrosystemtechnik Physik Squeeze-Film-Dämpfung

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