Herstellung von reibungsarmen amorphen Kohlenstoffschichten mittels reaktivem Magnetron-Sputtern und Analyse deren tribologischer Eigenschaften

Beschreibung

Im Rahmen dieser Arbeit wurden wasserstoffhaltige amorphe Kohlenstoffschichten mittels reaktiver Magnetron-Zerstäubung hergestellt und unter anderem auf ihre Tauglichkeit als Verschleißschutzschicht bei trockener und wässriger Beanspruchung hin charakterisiert und bewertet.

Autor*in

Marc Dießelberg

Themen in »Herstellung von reibungsarmen amorphen Kohlenstoffschichten mittels reaktivem Magnetron-Sputtern und Analyse deren tribologischer Eigenschaften«

DLC Oberflächentechnik Tribologie Werkstofftechnik a-C:H

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