Herstellung und Eigenschaften amorpher Kohlenstoffschichten in der Plasma-Immersions-Ionenimplantation

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Autor*in

Götz B Thorwarth

Themen in »Herstellung und Eigenschaften amorpher Kohlenstoffschichten in der Plasma-Immersions-Ionenimplantation«

Amorphe Kohlenstoffschichten DLC Ionenimplantation PIII & D Plasmaprozesse

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