Anton Horn Horn Modellierung und Simulation orientierungsabhängiger Ätzprozesse in Silizium

Modellierung und Simulation orientierungsabhängiger Ätzprozesse in Silizium

von Anton Horn

EUR 48,80

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Beschreibung

Autor*in

Anton Horn

Themen in »Modellierung und Simulation orientierungsabhängiger Ätzprozesse in Silizium«

KOH Nasschemisches Ätzen

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Details

ISBN: 9783832248260
Verlag: Shaker
Erscheinung: 02.2006

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