Effekte bei der Nanostrukturierung mittels fokussierter Ionenstrahlen
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Beschreibung
Autor*in
Christoph Lehrer
Themen in »Effekte bei der Nanostrukturierung mittels fokussierter Ionenstrahlen«
Materialabtrag Simulation Sputtererosion
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Details
ISBN: 9783832241643
Verlag: Shaker
Erscheinung: 06.2005