Liming Gao Gao Silver Metal Organic Chemical Vapor Deposition for Microelectronic Metallization

Silver Metal Organic Chemical Vapor Deposition for Microelectronic Metallization

von Liming Gao

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Beschreibung

Autor*in

Liming Gao

Themen in »Silver Metal Organic Chemical Vapor Deposition for Microelectronic Metallization«

CVD Diffusion Barrier

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Details

ISBN: 9783832238957

Verlag: Shaker

Erscheinung: 04.2005

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