Metallisierungssysteme für temperaturbelastete Bauelemente der Mikrosystemtechnik
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Beschreibung
Autor*in
Knut Gottfried
Themen in »Metallisierungssysteme für temperaturbelastete Bauelemente der Mikrosystemtechnik«
Kontaktsystem Leitbahnsystem Mikrosystemtechnik Mikrotechnologie Silizide
Stimmen zu »Metallisierungssysteme für temperaturbelastete Bauelemente der Mikrosystemtechnik«
Details
ISBN: 9783832236724
Verlag: Shaker
Erscheinung: 03.2005