Pinchplasma mit Hohlkathodenzündung als Strahlungsquelle im extremen Ultraviolett
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Beschreibung
Autor*in
Oliver Rosier
Themen in »Pinchplasma mit Hohlkathodenzündung als Strahlungsquelle im extremen Ultraviolett«
EUV-Lithographie Hohlkathode Lasertechnik Pinch Pseudofunken
Stimmen zu »Pinchplasma mit Hohlkathodenzündung als Strahlungsquelle im extremen Ultraviolett«
Details
ISBN: 9783832229566
Verlag: Shaker
Erscheinung: 07.2004