Herstellung, Charakterisierung und Bauelementsimulation von integrierten, elektrokeramischen Dünnschichtkondensatoren

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Autor*in

Ralf Liedtke

Themen in »Herstellung, Charakterisierung und Bauelementsimulation von integrierten, elektrokeramischen Dünnschichtkondensatoren«

BST Barium-Strontium-Titanat Defektchemie Dielektrikum Kondensator

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