Entwicklung eines integrierbaren optischen Meßsystems zur Kontrolle der Linienbreiten periodischer sub-Mikrometerstrukturen

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Autor*in

Norbert Benesch

Themen in »Entwicklung eines integrierbaren optischen Meßsystems zur Kontrolle der Linienbreiten periodischer sub-Mikrometerstrukturen«

Cost-of-Ownership-Modell DRAM-Fertigung Linienbreitenkontrolle neuronale Netzwerke optische Beugung

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