Untersuchung und Herstellung eines spektral-abstimmbaren Infrarot-Sensors in Silizium-Mikromechanik-Technologie für Anwendungen bei Zimmertemperatur

Beschreibung

Untersuchung und Herstellung eines spektral-abstimmbaren Infrarot-Sensors in Silizium-Mikromechanik-Technologie für Anwendungen bei Zimmertemperatur

Autor*in

Dirk Rossberg

Themen in »Untersuchung und Herstellung eines spektral-abstimmbaren Infrarot-Sensors in Silizium-Mikromechanik-Technologie für Anwendungen bei Zimmertemperatur«

Infrarot-Sensor Fabry-Perot-Interferometer Infrarot-Detektor Seebeck-Effekt Metallfilm-Bolometer Thermosäule Sensoren Sensorik

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