Erzeugung von SiO2-Beschichtigungen auf Siliziumoberflächen durch Sol-Gel-Prozesse zur Modifizierung der elektrischen Eigenschaften
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Beschreibung
Autor*in
Jörg Koriath
Stimmen zu »Erzeugung von SiO2-Beschichtigungen auf Siliziumoberflächen durch Sol-Gel-Prozesse zur Modifizierung der elektrischen Eigenschaften«
Details
ISBN: 9783826599903
Verlag: Shaker
Erscheinung: 2002